基本信息
摘要：本发明公开了一种无线无源电容式加速度计，其包括内设封闭空腔的衬底，质量块通过悬臂梁固定在封闭空腔内；封闭空腔内位于质量块上方的位置设有第一电容、位于质量块下方的位置设有第二电容；衬底的底面上设有平面螺旋电感；衬底和质量块上都通过TSV工艺打孔溅射有电连线，电连线将第一电容、第二电容和平面螺旋电感串联成闭合回路。本发明传感器设计巧妙，结构简单，灵敏度高，测试结果准确，无线无源，可以在恶劣环境中使用，而且测量时采用非接触式测量，大大的扩宽了该传感器的适用范围。
摘要附图：
