基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 湿度测量仪
• 申请日： 1970-08-19
• 申请号/专利号： CN86204690
• 专利权人： 曹德福;骆如枋
• 申请人： 中国科学院上海冶金研究所
• 分类号： G01W1/00
• 发明人/设计人： 曹德福;骆如枋
• 公开日/公告日： 1970.08.19
• 优先权号： G01W1/00
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本实用新型是以Si-MOS型Al₂O₃湿度传感器为测湿元件的湿度测量仪。它采用α相Al₂O₃作为MOS结构的氧化层并以正交分量法电容测量仪作为二次仪表，可重复稳定地测量-80℃～+10℃露点范围的绝对湿度和0—100％的相对湿度。仪器读数稳定，不发生长期漂移，可用于工业过程的湿度监控，环境湿度的检测与控制，超纯气体中含水量的分析测量，气密封装电子器件中湿度的检测及器件可靠性和失效机理的研究等领域。

摘要附图：