基本信息
摘要：微电子机械系统薄膜横向断裂强度在线测试结构属于微电子机械系统制造的技术领域，该结构由梳状执行器固定端、梳状执行器、连杆、悬臂梁、悬臂细梁、固定块组成，在固定块的两边分别对称连接有一根悬臂细梁，在悬臂细梁的另一端连接悬臂梁，在悬臂梁的另一端垂直连接有连杆，连杆的另一端与梳状执行器的一侧相接，梳状执行器的另一侧为梳状执行器固定端，固定块和梳状执行器固定端与芯片衬底相固定，将梳状执行器和待测悬臂梁、悬臂细梁集成在同一块芯片上，该芯片衬底上设有一层二氧化硅层，在二氧化硅层上设有一层氮化硅层，固定块和梳状执行器固定端固定在表面设有氮化硅层和二氧化硅层的衬底上。
摘要附图：
