基本信息
摘要：本发明公开了一体式零偏可调加速度计伺服电路及其制作方法和应用，属于半导体混合集成技术领域，传感器表头由力矩器、摆组件动力学、差动电容传感器组成；伺服电路系统主要由差动电容电压转换器、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块等组成。伺服电路功能由线性稳压电源、基准三角波发生器、差动电容检测器、积分网络、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块实现，可实现对加速度计输出零位修正，在输出级完成了对伺服电路输出电流的零偏补偿，有效减小加速度计的零偏，提高了加速度计伺服电路输出精度。同时，利用激光缝焊实现伺服电路与加速度计传感器表头一体式全密封封装，提高了加速度计的密封可靠性。
摘要附图：
