基本信息
摘要：本发明提供了一种加速度计表芯的测试装置、系统及方法，装置包括第一电源模块、表芯接口模块、电路接口模块、力矩器选择模块以及自由度测试模块；第一电源模块通过电路接口模块与力矩器选择模块以及自由度测试模块连接；表芯接口模块与自由度测试模块以及电路接口模块连接，力矩器选择模块与所述电路接口模块连接；自由度测试模块包括档位切换开关以及自由度选择模块，自由度选择模块包括n个电容和n个单刀单掷开关，其中一个电容和一个单刀单掷开关串联形成一个支路，n个支路并联后与档位切换开关连接，档位切换开关还与表芯接口模块连接；自由度测试模块的各个电容采用独立的开关控制，减少测试过程中的极间电容带来的影响，提高测试的准确性。
摘要附图：
