基本信息
摘要：本发明涉及一种带温度补偿的MEMS加速度计，包括加速度传感器、温度传感器、温度补偿芯片，加速度传感器和温度传感器与温度补偿芯片的相连接。温度补偿芯片采用的温度补偿方法为：（1）在多个温度点下测量零偏和标度因子的一组输出值并拟合为拟合曲面而获得一系列拟合系数并排列成系数矩阵；（2）将加速度传感器的输出信号和温度传感器的输出信号建模并表达为模型矩阵；（3）将系数矩阵和模型矩阵做点乘得到加速度传感器在温度补偿后的输出公式；（4）将拟合系数和输出公式写入温度补偿芯片进行计算。本发明通过曲面三维拟和以及计算之后进行补偿，有效减少了加速度计在组装和安装过程中产生的误差对系统的影响。
摘要附图：
