基本信息
摘要：本发明公开了一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，所述压力计包括密封空腔和电导测量外电路；其中，密封空腔的一端设有电极引线，另一端设有高分子聚合物薄膜，高分子聚合物薄膜在密封空腔中的一侧涂覆有至少一对金属微电极，金属微电极之间设有金属纳米粒子点阵；电导测量外电路上设有电极，电极与电极引线相连，并对应地连接到金属微电极上。本发明所述压力计具有很高的分辨率，能够稳定工作于不同气压范围的大气环境中；所述压力计结构简单，成本低，能够模块化制备与封装，可用于便携式个人气象站，三维GPS，微机电系统等多种领域。
摘要附图：
