基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201811034602.3
• 专利权人： 朱安赐;陶功皓;韩建强
• 申请人： 中国计量大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 朱安赐;陶功皓;韩建强
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计的结构、制作方法及工作原理，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于谐振式加速度计由双股叉型谐振梁(1)、激励电阻(2)、压敏电阻(3)、蟹腿型支撑梁(4)、质量块(5)、框架(6)、金属内引线(7)组成，质量块(5)的重心位于蟹腿型支撑梁(4)的中性面内。本传感器在检测原理方面的特征在于在平行于芯片表面的加速度作用下，双股叉型谐振梁(1)的轴向应力变化，从而改变其谐振频率，通过检测谐振频率的变化就可以得到加速度的大小和方向。相对于双端固支直梁谐振器，基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计具有更大的检测灵敏度。

摘要附图：