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基本信息
摘要:本发明实施例提供了一种新型光栅加速度计,具体包括:通过在所述敏感质量块底部设置有反射镜,且在所述光栅底部也设置有反射镜,就可以在所述光栅间隙和两层反射镜之间形成多光束干涉。这样通过改进加速度计的光学结构,提高了光学灵敏度,从而提高了加速度计的测量精度;进而降低了对加速度计机械结构灵敏度的要求,有利于提升机械结构的固有频率和抗冲击性,降低了加速度计的加工难度。
摘要附图: