基本信息
摘要：本发明实现一种灵敏度等特性相对于施加在传感器芯片上的干扰力难以变动的加速度传感器。加速度传感器具有经由支承框和挠性梁支承在支承框内的重锤、设置于梁的半导体压阻元件、将它们连接起来的配线，根据压阻元件的电阻变化来检测加速度。在梁的形成有压阻元件的部分以外的部分设有应力缓冲部。应力缓冲部关于梁的长度中心线和宽度中心线对称。即使干扰力沿梁整体延伸的方向施加于传感器元件，也可以由应力缓冲部来吸收干扰力。由于梁整体延伸的方向的应力难以变化，因此梁的易变形度也难以变化，能够降低干扰力的影响造成的灵敏度变化。
摘要附图：
