基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 厚膜压阻式三轴向加速度传感器
• 申请日： 1970-08-20
• 申请号/专利号： CN99230479.2
• 专利权人： 倪礼宾;吴仲诚;戈瑜;王英先;申飞;虞承端;马军
• 申请人： 中国科学院合肥智能机械研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 倪礼宾;吴仲诚;戈瑜;王英先;申飞;虞承端;马军
• 公开日/公告日： 1970.08.20
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：厚膜压阻式三轴向加速度传感器,包括其敏感元件和与其电连接的X、Y、Z轴向桥路,敏感元件部分包括外边缘的固支结构、陶瓷圆膜片、小瓷环和质量块。在改变敏感元件设计时,敏感元件和X、Y、Z轴向桥路组合成的E型膜片。厚膜力敏电阻的温度特性和桥路设计可消除三轴向之间的机械耦合,对调整传感器输出和频率响应十分灵活。

摘要附图：