基本信息
摘要：一种微加工加速度传感设备包括起传播介质作用的压电衬底。在衬底上布置隔板，其中隔板被蚀刻，以便形成一个或多个蚀刻的空腔。在隔板上形成传感元件，其中在隔板之上定位传感元件中的第一传感元件，在隔板的侧面上定位传感元件中的第二传感元件，并且在关于第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位传感元件中的第三传感元件，从而使衬底，隔板和多个传感元件包括微加工加速度传感设备，该微加工加速度传感设备在衬底的一端被固定至加速度下的目标，并且受到衬底的自由端处的力，以便提供表示加速度的信号。
摘要附图：
