基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 用于加速度传感器的微机械结构
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201480075691.X
• 专利权人： J·克拉森
• 申请人： 罗伯特·博世有限公司
• 分类号： G01P15/125
• 发明人/设计人： J·克拉森
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/125
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：用于加速度传感器(200)的微机械结构(100)，所述微机械结构具有：振动质量(10)，该振动质量相对于所述加速度传感器(200)的结构(100)的z旋转轴(A)而言限定地不对称地构造；弹簧元件(20、20’、21、21’)，该弹簧元件固定在所述振动质量(10)和至少一个固定元件(30)上；其中，基本上只有在基本上正交于所述z旋转轴(A)构造的平面内沿限定的感测方向加速时，才能够借助所述弹簧元件(20、20’、21、21’)产生所述振动质量(10)的旋转运动。

摘要附图：