基本信息
摘要：本发明公开了一种三明治型光学微机械加速度传感器及其方法。它包括部件组成：激光光源、分光棱镜、第一光电探测器、第一硅基底、第二硅基底、第一亚波长光栅、弹性梁、位移执行器、第二光电探测器、质量块、第二亚波长光栅等组成。光从激光光源发出，通过扩束透镜组、分光棱镜产生两路激光、一路激光通过聚焦透镜组，照射到第一光电探测器上，另外一路激光通过分光棱镜、至玻璃基底、第一亚波长光栅、第二亚波长光栅，由第二光电探测器接收。为了使系统小型化，本发明将玻璃基和第一硅基底以及第二硅基底通过键合组成了一个三明治结构。本发明大大缩小系统的体积，能够实现传感系统的小型化，精度高，在航空，军事领域都具有很广泛的应用前景。
摘要附图：
