基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种微机械系统MEMS二维扫描镜扫描角度的测量装置
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201110359866.8
• 专利权人： 史浩天;孙剑;尤政;张弛;张潮
• 申请人： 西安交通大学
• 分类号： G02B26/10
• 发明人/设计人： 史浩天;孙剑;尤政;张弛;张潮
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G02B26/10
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种微机械系统MEMS二维扫描镜扫描角度的测量装置，激光光束经微机械二维扫描镜扫描后，照射到半透半返镜上，半透半返镜光束透过照射到物体上，剩下的光被反射到PSD探测器上，PSD探测器探测到激光后输出两路模拟电压信号，PSD输出的两路电压信号经由A/D转换电路进行A/D转换后将数字信号输出。该发明结构电路简单、测量范围大、实时性强、精度较高。

摘要附图：