基本信息
摘要：一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；每组所述弹性折叠梁之间通过一连接臂相互连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明的加速度计结构具有极大的模态隔离比值，进一步降低了MEMS芯片的噪声。为此，本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。
摘要附图：
