基本信息
摘要：本发明公开了一种MEMS电涡流加速度计，包括金属基底、金属结构、电极和电感线圈；所述金属结构包括质量块和矩形的支撑框架，所述支撑框架设置于金属基底上，所述质量块位于支撑框架内，所述质量块的左、右两侧各设置一个弹性梁与支撑框架连接；所述金属基底上从下往上依次设置有第一、二氮化硅薄膜，所述电极包括两个第一电极和两个第二电极，分别设置在一、二氮化硅薄膜上，两个所述电感线圈设置于质量块下方，并连接第一电极和第二电极。具有体积较小，结构简单，稳定性好，测量精度高等特点；此外，上述MEMS电涡流加速度计采用了表面加工工艺，避免干扰应力的引入，并且可以采用常规工艺设备实现大批量制造，成本较低。
摘要附图：
