基本信息
摘要：本发明公开了一种轴向变化的隧道磁阻加速度测量系统，包括：外框、悬臂梁、磁场源和隧道磁电阻桥；悬臂梁位于外框内部，且其一端与外框固定连接，另一端为自由端，其自由端的运动方向与加速度的输入方向相同；磁场源固定于悬臂梁的自由端，其用于产生均匀的梯度磁场；隧道磁电阻桥为由多个隧道磁电阻连接成的惠斯通电桥结构；隧道磁电阻桥固定于外框表面，并与磁场源位置对应，且其磁敏感方向与加速度的输入方向垂直。本发明能够实现加速度到位移量、位移量到磁场变化、磁场变化到电场的高精度转换，具有易实现、高精度和低噪声的特性。
摘要附图：
