基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种隧穿型加速度传感器及包含其的加速度计和用途
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN202010530656.X
• 专利权人： 严与星;宋学锋;李成
• 申请人： 南方科技大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 严与星;宋学锋;李成
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提供一种隧穿型加速度传感器，所述隧穿型加速度传感器采用石墨烯活动机械部件，相较于现有的金材料或硅基材料，能够更好地减少隧穿型加速度计中的电迁移现象，并且由于石墨烯材料小，能够更进一步减小加速度传感器的体积，扩大了其应用范围；同时所述传感器综合采用单边S型双悬臂结构，具高灵敏度和高抗震性能的优势。

摘要附图：