基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 多轴电容式加速度计及加速度检测方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201310659158.5
• 专利权人： 汪建平;邓登峰
• 申请人： 杭州士兰微电子股份有限公司
• 分类号： G01P15/18
• 发明人/设计人： 汪建平;邓登峰
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/18
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提供了一种多轴电容式加速度计及加速度检测方法，所述多轴电容式加速度计的Z轴加速度计的两个Z轴结构层分别放置于XY轴加速度计两侧，该结构可减小封装形变引起的误差，从而提高多轴电容式加速度计的灵敏度。

摘要附图：