基本信息
摘要：一种微机电技术领域悬浮式反磁敏感质量微型加速度计。本发明由上定子，转子和下定子构成，通过对永磁材料制备的上、下定子公共电容极板结构的四个扇形区以及上、下定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板充磁，同时采用反磁材料制作转子基片，提供了一种相比传统静电悬浮省去了提供悬浮静电电极、线圈或电容极板等静电悬浮控制单元，且改为采用永磁材料和反磁材料相结合实现自稳悬浮的新型悬浮式反磁敏感质量微型加速度计。它可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度等多个自由度的加速度，进而可以用来对物体进行精确定位，用于检测加速度信号或导航。
摘要附图：
