基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 一种扭转谐振式微加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201320149299.8
• 专利权人： 刘恒;孙冬娇;孟瑞丽;李敏
• 申请人： 南京信息工程大学
• 分类号： G01C19/5628
• 发明人/设计人： 刘恒;孙冬娇;孟瑞丽;李敏
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01C19/5628
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本实用新型涉及一种扭转谐振式微加速度计。所述扭转谐振式微加速度计包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层。机械结构层包括：分别与Y轴支撑梁连接的第一质量块、第二质量块。第一质量块、第二质量块上开有均匀分布且尺寸一致的阻尼孔。金电极层中，驱动电极与检测电极之间设有接地电极。本实用新型具有扭转谐振阻尼小、同频干扰小的优点。

摘要附图：