基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 三轴角加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201710009802.2
• 专利权人： 张欣;张江龙
• 申请人： 美国亚德诺半导体公司
• 分类号：
• 发明人/设计人： 张欣;张江龙
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及三轴角加速度计。本文描述了角加速度计以及采用这种加速度计的系统。角加速度计可以包括质量块和朝向质量块中心的旋转加速度检测梁。角加速度计可以具有对围绕三个正交轴的角加速度的感测能力。围绕三个轴之一的角加速度的感测区域比围绕其他两个轴的角加速度的感测区域在径向上可以更接近质量块中心。质量块可以通过一个或多个锚与基板连接。

摘要附图：