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基本信息
摘要:本发明提供一种微机电压力计,其中包含:一基板,具有至少一导电线路;一薄膜,位于该基板上方,在该薄膜与该基板之间形成一半开放腔体,此半开放腔体具有一开口以接受外来压力;以及一封盖,位于该薄膜上方且与该薄膜形成一封闭空间,该封盖具有对应于该薄膜而设置的一上电极,且该薄膜至少有一部分构成下电极,该上、下电极形成感应电容以感测该外来压力;该下电极与该上电极分别电连接于该导电线路。同时还提供该微机电压力计的制作方法。
摘要附图: