基本信息
摘要：本实用新型公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换AD转换模块，减法器，除法器，数据存储求和平均模块、乘法器，以上模块均由一个可编程数字信号处理器实现。本实用新型结构相对简单，可有效降低由于光源自身功率波动和环境光对输出信号的影响，相比采用具有很高功率稳定性激光器的方案可以有效降低光学MEMS加速度计的成本。而且该系统和方法能够有效应用于光学MEMS加速度计中，减小其输出信号的扰动，最终提高加速度测量零偏稳定性和精度。
摘要附图：
