基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 用于加速度传感器的微机械结构
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201610269963.0
• 专利权人： G·N·C·乌尔希里
• 申请人： 罗伯特·博世有限公司
• 分类号： G01P15/08
• 发明人/设计人： G·N·C·乌尔希里
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/08
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种用于加速度传感器的微机械结构(100)，所述微机械结构具有：振动质量(20)，其借助中央连接元件(13)连接到衬底(10)上；布置在所述衬底(10)上的定义数量的电极(11a，12a)；其中相对于感测轴线在所述连接元件(13)的两侧分别布置有一个弹簧元件(21)。

摘要附图：