基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 半导体加速度传感器
• 申请日： 1970-08-20
• 申请号/专利号： CN93234218.3
• 专利权人： 刘庆海;唐世洪;张国华;杨复兴;温明生;田景群
• 申请人： 吉首大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 刘庆海;唐世洪;张国华;杨复兴;温明生;田景群
• 公开日/公告日： 1970.08.20
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：半导体加速度传感器由传感器管座、上盖螺帽、 垫圈、屏蔽线及压力敏感元件组成，敏感元件又由上 压片、上密封片、保护框、敏感元件管座、硅芯片、质量 块、背贴衬片及下密封片构成。硅芯片由于开设增敏 槽而形成簧片式硅弹性膜结构，其上加工有四组硅扩 散电阻，其中两组分别与补偿电阻一起连成两组电 桥，形成七个输出端作双路输出。该传感器可靠性 高，敏感元件灵敏度和线性度好，工作中可大大减小 蠕变和迟滞现象，成品率高而成本较低。

摘要附图：