基本信息
摘要：本发明涉及一种石英微机械加速度计敏感结构的保护装置及加工方法，保 护装置选取与敏感结构相同材质、切型的石英晶体为基材，采用高精度光刻工 艺制作图形，利用湿法刻蚀工艺加工而成，利用环氧胶粘接的方式装配敏感结 构和保护结构，形成上、下层为保护结构，中间层为敏感结构的三层装配结构， 上、下层的保护结构对中间层敏感结构上的质量块起到限位保护的作用，同时 保护装置上刻蚀一定深度的凹槽区，为敏感结构质量块的变形提供空间，同时 借助光学显微系统实现了较高的对准精度，本发明保护装置有效地提高了敏感 结构的抗冲击性能，避免了热膨胀系数差异而产生的应力，提高了敏感结构的 可靠性，且装配精度较高，工艺简单，易于实现。
摘要附图：
