基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 一种机械及电学解耦的谐振式加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201620790694.8
• 专利权人： 任伶;李逸伦;李鹏飞;王淞立;赵虎;闫鑫
• 申请人： 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 任伶;李逸伦;李鹏飞;王淞立;赵虎;闫鑫
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本实用新型涉及到微机电机械系统(MEMS)中的谐振式加速度传感器，特别涉及一种机械及电学解耦的谐振式加速度计。谐振器与质量块相连，质量块通过锚点固定在基体上，加速度计包括两个左右相互独立的质量块，其特征为：左右质量块分别通过各自独立的锚点固定在基体上。克服了谐振式加速度计现有解耦技术的不足，有效的解决谐振式加速度计的锁模问题。

摘要附图：