基本信息
摘要：本发明公开了一种光学陀螺与加速度计高度融合的惯性传感单元，包括硅基底及位于其上的光源、第一信号探测器、第二信号探测器、功率探测器、以及混合波导芯片；光信号由光源发出，Y分支波导实现分光，一半的光进入马赫曾德干涉结构，另一半的光进入定向耦合结构，实现光源的复用。由光源、Y分支波导、第二信号探测器、马赫曾德干涉结构和微悬梁结构组成加速度测量光路。由光源、Y分支波导、第一信号探测器、定向耦合结构、Y波导调制器及连接的光纤环组成角速度测量光路。本发明的惯性传感单元集成度高、体积小，实现光学陀螺仪和加速度计的高度融合。
摘要附图：
