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基本信息

摘要:本公开是关于一种加速度陀螺传感器,该加速度陀螺传感器包括微机电系统MEMS芯片和专用集成电路ASIC基底,ASIC基底上设置有支撑MEMS芯片的支撑体,且支撑体中的部分支撑体与MEMS芯片固定连接,另一部分支撑体与MEMS芯片搭接连接,与MEMS芯片固定连接的支撑体在ASIC基底上的位置,位于当所述ASIC基底受到外界应力作用发生形变时,MEMS芯片所受支撑体的应力在预设范围内的位置。通过本公开,可降低外界应力对检测精度的影响,提高加速度陀螺传感器的检测精度。

摘要附图: