基本信息
摘要：本发明为一种晶体型压力、应力或加速度传感器及光学测量方法。传感器包括：激光二极管准直光源、起偏器、传感元件、检偏器、光电探测器和信号处理与调制控制单元；传感元件为兼有电光效应和弹光效应的-43m和23点群的立方晶体。在立方晶体的上下表面的(111)晶面上垂直施加待测应力P和补偿电场。本方法通过调整补偿电场，使得晶体内因压力产生的弹光双折射能够被电光双折射所补偿，由补偿电场获取被测压力、应力或加速度的大小。本发明的π/2光学偏置通过将晶体设计成菲涅尔菱形或在垂直于晶体(111)晶面上预加四分之一波电场产生。本发明响应速度快、具有抗电磁干扰能力、可实现闭环测量，光学传感单元结构简单、体积小。
摘要附图：
