基本信息
摘要：一种微机电系统领域的双模式反磁敏感质量微加速度计，由上定子、转子和下定子构成，所述下定子中，下定子侧向静电电极分布在下定子基体的顶面的最外围，且沿圆周分布，下定子十字分隔结构沿下定子基体表面几何结构的中线位置分布，将下定子基体的底面空间分隔成四个区域，在这四个区域上粘附着下定子永磁块；所述上定子中，上定子十字分隔结构沿上定子基体表面几何结构的中线位置分布，将上定子基体的底面空间分隔成四个区域，在这四个区域上粘附着上定子永磁块。本发明降低了转子的起支过程和起支控制难度，可同时检测包括沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度等多个自由度的加速度。
摘要附图：
