基本信息
摘要：本发明公开了一种微机械加速度计的多级噪声整形ΣΔΜ闭环控制电路和方法，控制电路包括第一前置电荷放大器；第一解调电路；第二前置电荷放大器；第二解调电路；全差分放大电路；相位补偿电路；第一量化器；模拟开关；第一增益放大电路；第二增益放大电路；第三增益放大电路；第四增益放大电路；第一减法电路；第二减法电路；第一增益放大和减法电路；第一全差分积分电路；第二增益放大和减法电路；第二全差分积分电路；第二量化器；第三减法电路，其中所述微机械加速度计包括中心质量块、第一检测电极、第二检测电极、第一反馈电极和第二反馈电极。本发明通过上述技术方案能获得较好的稳定性，同时具有四阶噪声整形能力，能获得较高的信噪比。
摘要附图：
