基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201210059387.9
• 专利权人： 冯日盛;李森林;李琰;李青;韩建强
• 申请人： 中国计量学院
• 分类号： G01P15/18
• 发明人/设计人： 冯日盛;李森林;李琰;李青;韩建强
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/18
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。组成谐振式加速度计的谐振梁(1)位于衬底上表面，蟹腿型支撑梁(2)的中性面与质量块(3)的重心在同一平面。谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)通过五次光刻和三次各向异性湿法腐蚀工艺制作在同一硅片上。首先，背面光刻，有掩膜腐蚀工艺从谐振梁(1)背面腐蚀硅到一定深度。然后正反面光刻，去除腐蚀槽(8)中除谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)以外部分的腐蚀掩蔽层(9)，有掩膜腐蚀硅到另一深度。最后，去除蟹腿型支撑梁(2)正反面的腐蚀掩蔽层(9)，掩膜和无掩膜腐蚀相结合实现谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)的同时成型。该双轴体微机械谐振式加速度计具有较小的交叉轴干扰和较高的灵敏度。

摘要附图：