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基本信息

摘要:本实用新型公开了一种石英摆式加速度计,包括上极板、中间极板和下极板,所述上极板和所述下极板均由键合区、电容平板区和电极引线区组成,所述键合区围在所述电容平板区的四周,所述电极引线区一端悬空,另一端穿过所述键合区与所述电容平板区连接,所述键合区的厚度大于所述电容平板区的厚度;所述中间极板由键合区、质量块、挠性梁和电极引线区组成,所述键合区为环状,所述质量块经所述挠性梁与所述键合区内侧边固定连接,所述电极引线区一端悬空,另一端穿过所述键合区与所述质量块相连;所述上极板、中间极板和下极板通过三者的键合区连接成一个整体。本实用新型结构简单、同一种材料、无需精密机械装配,可靠性和制造型能够得到提升。

摘要附图: