基本信息
摘要：一种具有对称结构的微机械差分电容加速度计，通过锚合区域anchor从上、下两个方向和可动硅结构组件连接。硅结构组件的弹性支撑梁分上、下两层分布在可动质量块、固支框架之间，连接可动质量块和固支框架，梁和可动质量块以及固支框架的连接处采用圆角过渡，可动质量块的上表面和下表面都分布有气体导流凹槽；电极盖板可由硅材料制成。质量块的上表面和下表面都分布的气体导流凹槽有利于调节所述的加速度计的压膜阻尼效应，从而从结构上改善离面式电容检测加速度计的动态特性；本发明所述加速度计的多根弹性支撑梁为单一掺杂浓度的单晶硅材料制成，消除了由于采用不同材料所引入的热失配应力，以及由于单晶硅掺杂浓度不同引入的热失配应力。
摘要附图：
