基本信息
摘要：高过载三自由度加速度计，该加速度计包括四方体的基座，基座的X、Y、Z三个方向的表面上分别设置X轴、Y轴和Z轴加速度梁，X轴、Y轴和Z轴加速度梁上分别覆盖有盖板，加速度梁包括质量块，质量块通过梁与固支端连接，梁上靠近固支端处键合有SOI硅微固态压阻芯片，固支端与相应的基座固定，质量块与相应的盖板和基座之间有间隙，此间隙限制了质量块的活动范围，达到了高过载保护的作用。本发明采用悬臂梁式弹性元件和SOI硅微固态压阻芯片，解决了导弹、鱼雷、火箭等武器系统引信机构三自由度加速度高g值的测量和高过载保护的问题，该加速度计具有测量范围广、测量精度高、动态特性好、耐高温和高过载的特点。
摘要附图：
