基本信息
摘要：一种基于分子?电子感应式加速度计弹性薄膜元件的设计方法，属于传感器技术领域。本发明的目的是通过设计加速度计弹性薄膜元件，能够有效地针对不同的加速度计腔体类型进行弹性薄膜元件的匹配设计，使该弹性薄膜元件能够在具体的测量任务中，将最优的弹性性能与腔体进行配合基于分子?电子感应式加速度计弹性薄膜元件的设计方法。本发明的分子?电子感应式加速度计的流体动力学工作原理模型如下：反应腔内的电解液运动通过Navier?Stokes方程对其完成描述，分子?电子感应式加速度计的输出方程和电解液的离子迁移效应利用Nernst?Plank方程对其进行描述，建立薄膜结构与电解液分界面方程通过上面方程的联合求解。本发明调整腔体内电解液离子浓度的运动变化，进而消除腔体内因外界振动产生的非运动方向干扰信号带来的不利影响。
摘要附图：
