基本信息
摘要：本发明提供一种三轴加速度计，包括基板、检测质量块、支撑基座及至少一个第一梳齿状电容组，支撑基座固定在基板上，检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面，在基板上相对设置有至少两个电极，电极分别对应于检测质量块质量较大的一侧和质量较小的一侧，用于与检测质量块形成电容，第一梳齿状电容组设置在弹片所在直线与电极之间，当加速度计存在一平行于基板平面的第一方向的加速度时，第一梳齿状电容组的电容发生变化。本发明的优点在于，第一梳齿状电容组设置在弹片所在直线与电极之间，从而，使得电极到弹片所在直线的垂直距离增大，可以提高三轴加速度计在垂直基板平面方向灵敏度，从而提供高灵敏度的加速度计。
摘要附图：
