基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 用于运行微机械z加速度传感器的方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201710112851.9
• 专利权人： A·弗兰克;K·哈默;S·京特
• 申请人： 罗伯特·博世有限公司
• 分类号： G01P21/00
• 发明人/设计人： A·弗兰克;K·哈默;S·京特
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P21/00
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉一种用于运行微机械z加速度传感器(100)的方法，该方法具有以下步骤：将测试信号施加到电极(42)上用于在所述z加速度传感器(100)的运行中产生所述z加速度传感器(100)的双臂杆(10)的所限定的偏转；检测所述双臂杆(10)的偏转并且将所述偏转换算成加速度值(B1)；通过求取所检测的加速度值(B1)与在制造过程中检测的初始加速度值(B0)之间的差，分析处理所检测的加速度值(B1)，其中，将所检测的加速度值(B1)与所述初始加速度值(B0)之间的差与所限定的阈值进行比较并且评估所检测的加速度值(B1)与所述初始加速度值(B0)之间的差。

摘要附图：