基本信息
摘要:本发明涉及加速度计技术领域,公开了一种石英振梁加速度计敏感组件。该组件包括外框、挠性支撑件、隔离框、外连接件、内连接件、支架、检测质量块和振梁,隔离框位于外框内部,隔离框一端外侧通过外连接件与外框内侧相连,隔离框另一端内侧通过内连接件与支架相连,振梁一端与检测质量块相连而另一端与支架相连,支架的上端面与检测质量块的下端面之间设置挠性支撑件且挠性支撑件对称分布于振梁两侧,振梁与挠性支撑件不共面,两侧的挠性支撑件共面。由此,通过增加隔离框及相关部件的设置可以阻断振梁能量耗散通道,将双叉指结构简化为单叉指,避免了狭小间隙的出现。并且,隔离框可以阻断外界热应力的传入,提高了加速度计温度环境适应性。
摘要附图: