基本信息
摘要：一种电容式角加速度计，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上壳体、流体腔室、差分电容动极板、差分电容定极板、下壳体。在流体腔室内充满有大密度液体。当在垂直方向上存在角加速度计时，挡板在密封液体惯性力的作用下产生倾斜，从而通过柔性腔室外壁带动差分电容动极板运动。控制电路检测差分电容的变化量，进而推出外界输入的角加速度数值。整个装置可以采用LIGA/准LIGA工艺及键合工艺进行制作。本发明提出的电容式角加速度计工作在准静态下，有很宽的检测频率范围，还具有很高的测量精度。
摘要附图：
