基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 三轴集成硅微谐振式加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201110048609.2
• 专利权人： 李宏生;李秀亮;杨波;王寿荣;陈卫卫;黄丽斌
• 申请人： 东南大学
• 分类号： G01P15/18
• 发明人/设计人： 李宏生;李秀亮;杨波;王寿荣;陈卫卫;黄丽斌
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/18
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本发明结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。

摘要附图：