基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 梳齿电容式微加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201410416756.4
• 专利权人： 唐彬;张照云;彭勃;苏伟;陈颖慧
• 申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 唐彬;张照云;彭勃;苏伟;陈颖慧
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种梳齿电容式微加速度计，包括由上至下设置的衬底层、绝缘层、结构层和基底层，绝缘层设在衬底层与结构层之间；衬底层和基底层上均设有金属引线电极。本发明不增加器件面积的情况下使得检测电容成倍增加，增加质量块重量，增加了设计的灵活性，能提高测量精度，且可利用干法刻蚀，尺寸控制好，工艺简单，能够实现大批量制造。

摘要附图：