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基本信息

摘要:本发明提供高精度、高可靠性、且结构简单、更廉价的热式流量计,其包括:具有形成在隔膜上的发热电阻体的传感元件;温度检测元件;与传感元件电连接的驱动电路,热式流量计的特征在于:包括通过树脂密封传感元件、驱动电路、用于安装传感元件和驱动电路的金属的引线框、和温度检测元件而形成的芯片封装,芯片封装具有露出结构,在该露出结构中,包含隔膜的传感元件的表面露出,温度检测元件通过导电性部件安装在引线框上。

摘要附图: