基本信息
摘要：公开了一种用于提供MEMS传感器的系统和方法。在第一方面，该系统是MEMS传感器，该MEMS传感器包括：基底；锚定区域，其联接到基底；至少一个支撑臂，其联接到锚定区域的；至少两个引导臂，其联接到该至少一个支撑臂并且相对于该至少一个支撑臂移动；多个感测元件设置在该至少两个引导臂上以测量该至少两个引导臂相对于基底的运动；以及检测质量块系统，其包括通过一组弹簧联接到至少两个引导臂中的每一个的至少一个质量块。该检测质量块系统设置在锚定区域、至少一个支撑臂、至少两个引导臂、一组弹簧以及多个感测元件外。
摘要附图：
