基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 角速度测量方法和振动微机械角速度传感器
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN200880017640.6
• 专利权人： 安西·布卢姆奎维斯特
• 申请人： VTI技术有限公司
• 分类号：
• 发明人/设计人： 安西·布卢姆奎维斯特
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及一种用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器的方案中，质量块借助于具有非正交的主轴和次轴的弹性结构被悬挂着，从而在检测谐振器中引起与主运动同相的测试激发，并且借助于相位检测器从主运动与次运动之间的相位差检测待测量的角速度。特别是在用于角速度传感器的小型振动微机械方案中，本发明的角速度传感器的结构能够以良好性能实现可靠测量。

摘要附图：