基本信息
摘要：本发明的三层红外辐射热测量计包括一有源矩阵层(210),一支撑层(220),接线柱(270)以及一个吸收层(230)。有源矩阵层(210)包括一具有集成电路的衬底(212),连接端子(214)和一覆盖住衬底(212)的保护层(216)。支撑层(220)包括若干桥(240),每个桥(240)具有形成于其顶部的导线。其中导线(265)的一端电连接至相应的连接端子(214)。吸收层(230)包括一吸收器(295),一被所述吸收器(295)包围的辐射热测量元件(285),一形成于该吸收器(295)顶部的钛薄膜297,以及一形成于所述钛薄膜297的顶部并由氮氧化硅制成的红外吸收器涂层299。由于钛薄膜表面不能提供足够的晶核形成点供该涂层稳定生长,其结果是该红外吸收器涂层(299)具有多个孔和粗糙上表面。每个接线柱(270)包括一由绝缘材料所包围的电导管(272)并且位于吸收层(230)和桥(240)之间,这样,螺旋形辐射热测量元件(285)通过电导管(272),导线(265)和连接端子(214)而被电连接至所述集成电路。
摘要附图：
