基本信息
摘要：一种属于传感器技术领域的巨应力阻抗效应加速度计，本发明由硅基片上1的悬臂梁2，巨应力阻抗效应力敏传感器3，质量块4组成，巨应力阻抗效应力敏传感器3为具有高磁致伸缩系数的Fe基非晶合金薄带，其各向异性场为沿薄带宽度方向，形状为曲折多匝结构，质量块为Cu材料。工作时，质量块用于感受加速度并产生对恳臂梁端部的作用，使得悬臂梁发生受力变形，产生一定的挠度，巨应力阻抗效应力敏传感器将这种受力转变成阻抗变化的信号，并通过两端电压信号反映出来，从而测量出整个系统的加速度参数，整个结构为通过微机电系统MEMS技术制备，具有体积小，制作工艺简单，灵敏度高，可以批量生产，反映速度快等的优点。
摘要附图：
